MEMS倾角仪它是如何工作的-MEMS工作原理

MEMS倾角仪它是如何工作的-微机电原理

MEM’s = Micro-Electro-Mechanical 微机电

测斜仪测量物体相对于重力的方向角。这是通过加速度计来完成的，该加速度计监测重力对悬浮在弹性支撑结构中的微小质量的影响。当设备倾斜时，该质量会轻微移动，导致质量和支撑结构之间的电容发生变化。倾斜角是根据测得的电容计算出来的。该功能可以用带有两个电极的简化模型来说明：一个是固定的，另一个（检测质量）是可移动的，由弹簧元件悬挂。当测斜仪处于水平位置时，测量电极之间的电容。如果传感器倾斜，可移动质量及其电极将改变相对于固定电极的位置。两个电极之间由此产生的电容变化由传感器单元测量并用于计算新的倾角值。这种工作原理已在许多工业和商业应用中得到验证，例如手机运动传感器和汽车安全气囊。这些消费类应用通常需要低等级的加速度计单元，其精度通常低于0.1度。